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進入九十年代,國際上MEMS技術(shù)有了長足的發(fā)展,硅片定向微機電加工精度和成品率不斷提高,加上離子注入技術(shù)的發(fā)展使擴散硅壓力傳感器從技術(shù)上有了可靠保證,成本也有所下降。在許多應(yīng)用領(lǐng)域里,擴散硅壓力傳感器還必須與充油蕊體配套,這又使它的售價大幅度上升。這些原因無疑在一定程度上促進了國內(nèi)壓力傳感器市場的興盛。
近幾年,由昆山市人民政府和中科院,在昆山雙橋成立了國家火炬計劃昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地,使擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的微納米MEMS技術(shù)硅壓阻式傳感器和變送器形成了產(chǎn)業(yè)鏈。合肥智能化所在陶瓷壓力傳感器方面在研發(fā)和制造技術(shù)方面也有了可喜的發(fā)展。這些進展都在一步步推進著國內(nèi)市場的發(fā)展。
在國外,壓阻式陶瓷壓力傳感器以其高可靠性,抗腐蝕、優(yōu)良的線性精度和低成本開始逐漸替代擴散硅壓力傳感器,這也將是必然的發(fā)展趨勢。國家科技部馬頌德副部長在2005年底視察無錫時,對此作了充分肯定。
我國從事各種壓力變送器生產(chǎn)的廠家有1700多家,作為壓力變送器的核心部件-壓力傳感器實現(xiàn)國產(chǎn)化的時代巳經(jīng)到來!
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